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广州潽拓光电——真空计 BPG400 and PCG 402 的工作原理
1、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空计2、皮拉尼(Pirani)真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 原理
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)
Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为
Qg = αΛπda(T-T0)p (2) T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3) Qr = πdaσε(T4-T04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为
I2R = Ap + I02R (5) A = αΛπda(T-T0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数 如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项:
*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度(gao75摄氏度),从而避免沉积物的累积;
*加热带由控制器进行温度控制,ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀
*分子泵转速的调节——待机转速
—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在di待机转速与额定转速之间,这样可以根据客户的工艺情况(如运行在较gao压力下)使泵运行在zui优状态。
gao转速—34000 rpm(ATH 1300M/MT)
*磁悬浮分子泵的安装要求
---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高,泵出现机械故障或者发生意外时,没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故
---当泵在运行过程中转子突然卡死时,转子的动能将被传递到泵体和设备上
---通过模拟分子泵损坏时的坏状况(转子在全速时碎成两半)
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广州潽拓光电——PFEIFFER PKR251真空计
大型伺服控制系统:伺服是使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标(或给定值)的任意变化的自动控制系统。它的主要任务是按控制命令的要求、对功率进行放大、变换与调控处理,使驱动装置输出的力矩、速度和位置控制的非常灵活方便。
*全量程真空计 pkr 360 /361 与 pkr 251 /261 对比主要区别:
1、更小量程:1e-9 hpa (旧款真空计: 5e-9 hpa)
2、更紧凑的设计,更小尺寸:
3、zui小化磁漏,磁场更弱
4、新款真空计内部密封圈采用金属材质
5、根据客户实际应用,提供强/弱电流型号供选择
6、双腔室设计,更少的零部件,使用寿命更长
法兰尺寸 DN 25 ISO-KF,DN40 ISO-KF
测量范围 5·10-9- 1000 hPa
外壳内两根测量管(Pirani 和冷阴极(反磁控管)
法兰从大气到 UHV
耐腐蚀
适用于惰性气体的zui高压力和温度范围 < 55 °C
单个法兰即可实现从大气到 UHV
显围从 5 · 10-9至 1000
hPa